Sensor de flujo implementando en silicio
Presenta un diseño, fabricación y prueba de un sensor de flujo en el principio de fuerza de arrastre. El sensor fue implementado en silicio. Su estructura consiste de un puente sujetado en uno de sus extremos, cuyas dimensiones son 3mm y 15mm respectivamente. El rango de medición va de 0.5 1/min...
Main Author: | Moncada Balmaceda, María Virginia |
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Other Authors: | Tutor: Au, Joe |
Format: | Tesis Section = Libro |
Language: | Undetermined Spanish |
Published: |
Londres - Inglaterra
Universidad de Brunel, Londres
1995
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Subjects: |
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