Sensor de flujo implementando en silicio

Presenta un diseño, fabricación y prueba de un sensor de flujo en el principio de fuerza de arrastre. El sensor fue implementado en silicio. Su estructura consiste de un puente sujetado en uno de sus extremos, cuyas dimensiones son 3mm y 15mm respectivamente. El rango de medición va de 0.5 1/min...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Moncada Balmaceda, María Virginia
Other Authors: Tutor: Au, Joe
Format: Tesis Section = Libro
Language:Undetermined
Spanish
Published: Londres - Inglaterra Universidad de Brunel, Londres 1995
Subjects:

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